エレクトレット帯電／陽極接合同時プロセスで作製したMEMS振動発電素子の発電評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS24057,BMS24022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2024/08/06

タイトル(英語): Evaluation of power generating from MEMS vibrational energy harvester made by simultaneous process for anodic bonding and electret charging

著者名: 本間 浩章(東京大学),池野 翔(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Hiroaki Honma(The University of Tokyo),Sho Ikeno(The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: 振動発電|エレクトレット|陽極接合|vibrational energy harvester|electret|anodic bonding

要約(日本語): エレクトレット帯電処理と陽極接合を同時に行い作製するSoG（Silicon on Glass）型MEMS振動発電素子を開発した。SOI基板を使わないことでハンドル層による寄生容量を削減する効果が期待できる。本論文では、SoG型振動発電素子の負荷-発電電力性能を検証し、最適負荷3 MΩを接続し0.7 Gで揺らした際に0.8 nWの出力を観測した。

要約(英語): MEMS vibrational energy harvester is developed using a simultaneous process for wafer bonding of a silicon-on-glass and electret polarization. The silicon-on-glass structure holds the benefit of decreasing the parasitic capacitance. The output power of 0.8 nW is obtained under 0.7 G when the optimal resistance of 3 MΩ is loaded.

本誌: 2024年8月9日マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 1-4 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,677 Kバイト