アミン機能化シリカナノ粒子をもちいたグラフェン共振質量センサの質量感度評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS24058,BMS24023

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2024/08/06

タイトル(英語): Evaluation of Mass Sensitivity of Graphene Resonant Mass Sensors Using Amine-Functionalized Silica Nanoparticles

著者名: 加藤 源基(豊橋技術科学大学),Pham Viet Khoa(豊橋技術科学大学),吉田 誉(豊橋技術科学大学),坂井 佐知子(豊橋技術科学大学),今泉 祐輝(東洋大学),合田 達郎(東洋大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),髙橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Motoki Kato(Toyohashi University of Technology),Khoa Pham Viet(Toyohashi University of Technology),Homare Yoshida(Toyohashi University of Technology),Sachiko Sakai(Toyohashi University of Technology),Yuki Imaizumi(Toyo University),Tatsuro Goda(Toyo University),Yong Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology)

キーワード: グラフェン|共振器|共振測定|レーザー励起加振|アミン機能化シリカナノ粒子|質量感度|Graphene|Resonator|Resonance measurement|Opto-thermal excitation|Amine functionalized silica nanoparticles|Mass sensitivity

要約(日本語): 高感度グラフェン共振質量センサの質量感度評価において，理論値に基づく評価のみが行われていた．そこで，サイズが均一で質量が既知のアミン機能化シリカナノ粒子を用いて，実験的な質量感度の評価を実施した．レーザー励起加振を用いて，グラフェンを共振させ，実験値から求めた質量感度と理論値から求めた質量感度が概ね一致することを確認した．さらに，FE-SEM観察により計算結果と一致するシリカナノ粒子を確認した．

要約(英語): In the evaluation of mass sensitivity for high-sensitivity graphene resonant mass sensors, only theoretical evaluations had been conducted in our previous study. Therefore, we experimentally evaluated the mass sensitivity using amine-functionalized silica nanoparticles with uniform size and known mass. It was confirmed that the mass sensitivity determined from experimental values was consistent with the mass sensitivity calculated from theoretical values.

本誌: 2024年8月9日マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 5-8 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,566 Kバイト