三相リニアステッピングモータへの反復学習制御の適用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC24009

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2024/09/15

タイトル(英語): Preliminary study on applying iterative learning control to three-phase linear-stepper-motor

著者名: 弦本 健太郎(東京大学),大西 亘(東京大学),原 嘉仁(鈴木工業),見城 篤(アドテックエンジニアリング),田中 米太(アドテックエンジニアリング)

著者名(英語): Kentaro Tsurumoto(The University of Tokyo),Wataru Ohnishi(The University of Tokyo),Yoshihito Hara(Suzuki Industry Co. Ltd.),Atsushi Kenjo(ADTEC Engineering Co. Ltd.),Yoneta Tanaka(ADTEC Engineering Co. Ltd.)

キーワード: 次世代インターポーザ製造装置|システム同定|周波数応答解析|反復学習制御|Next generation interposer manufacturing machine|System identification|Frequency response analysis|Iterative learning control

要約(日本語): 更なる半導体集積回路の性能向上が求められる中，CPUやメモリ等の異なる複数チップを高速に接続するインターポーザが注目されている。次世代インターポーザの製造は大面積で低価格な装置の高速・高精度位置決めが求められ，ハード面の改良と共に制御面の重要性が増している。本論文では，次世代インターポーザ製造装置への適用を目指した三相リニアステッピングモータに反復学習制御を適用することで高速・高精度位置決めを実現する。

要約(英語): Interposers, crucial for connecting multiple chips like CPUs and memory, are expected to play a critical role for further improving the performance of semiconductor integrated circuits. This study aims to achieve high-speed and high-precision tracking of next-generation interposer manufacturing machine by applying iterative learning control. Experimental validation on a prototype three-phase linear-stepper motor show significantly enhanced tracking performance enabled by iterative learning control.

本誌: 2024年9月18日メカトロニクス制御研究会

本誌掲載ページ: 49-54 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,715 Kバイト