横磁束形リニア同期モータの磁気吸引力能動制御による3自由度駆動ステージの精密制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC24014

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2024/09/15

タイトル(英語): Precise Control of a 3-Degree-of-Freedom Motion Stage Using Active Magnetic Attraction Control of Transverse Flux Linear Synchronous Motors

著者名: 佐々木 怜音(東京大学),片山 真守(東京大学),大西 亘(東京大学),古関 隆章(東京大学),Yang Pai-Hsueh(Nikon Research Corporation of America),Keswani Gaurav(Nikon Research Corporation of America),金 弘中(コベリa),坂田 晃一(ニコン)

著者名(英語): Reon Sasaki(The University of Tokyo),Mamoru Katayama(The University of Tokyo),Wataru Ohnishi(The University of Tokyo),Takafumi Koseki(The University of Tokyo),Pai-Hsueh Yang(Nikon Research Corporation of America),Gaurav Keswani(Nikon Research Corporation

キーワード: 精密位置決め制御|露光装置|リニアモータ|非接触|多自由度系|precision positioning control|lithography system|linear motor|contactless|multi-degree-of-freedom system

要約(日本語): 精密位置決めステージは、半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ露光装置などの産業のコアを支える技術の重要な要素である。多自由度ステージを制御するためのアクチュエータの数が増加すると、システムは複雑になり、設置コストも増加する。_x000D_ 本研究では、磁束形リニア同期モータの磁気吸引力を能動的に制御することで3自由度動作を可能とする画期的なステージ構造を提案する。提案手法の有効性は、試作機を用いた実験により実証され、高速・高精度制御が可能であることが示された。

要約(英語): Precision positioning stages are an essential element of the technology that underpins the core of industries such as semiconductor manufacturing equipment and flat panel display exposure equipment._x000D_ As the number of actuators used to control the multi-degree-of-freedom of the stage increases, the system becomes more complex and the installation cost increases._x000D_ In this study, we propose an innovative stage structure that enables 3-degree-of-freedom motion by actively controlling the magnetic attraction force of a lateral flux linear synchronous motor._x000D_ The effectiveness of this method was demonstrated by experiments using a test device, which showed that high-speed, high-precision control was possible.

本誌: 2024年9月18日メカトロニクス制御研究会

本誌掲載ページ: 79-84 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,300 Kバイト