レーザ誘起前方転写法を用いたマイクロ磁石の創製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG24084

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Preparation of micro-magnets via LIFT technique

著者名: 田原 楽飛(長崎大学),東 倖主(長崎大学),網屋 拓輝(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),小池 邦博(山形大学),中野 正基(長崎大学)

著者名(英語): Gakuto Tahara(Nagasaki university ),Kosuke Higashi(Nagasaki university ),Takuki Amiya(Nagasaki university ),Akihiro Yamashita(Nagasaki university),Takeshi Yanai(Nagasaki university),Kunihiro Koike(Yamagata university),Masaki Nakano(Nagasaki university)

キーワード: ＬＩＦＴ法|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ磁石|ＭＥＭＳ|保磁力|ＹＡＧ　レーザ|ＰＬＤ法|LIFT technique|Nd-Fe-B magnets|MEMS|Coercivity|YAG laser|PLD method

要約(日本語): すでに我々はMEMSへの永久磁石の応用を鑑み，LIFT法を用いて，熱処理を施すことなく，Nd-Fe-B系マイクロ磁石を基板上に作製できる結果を報告した。本研究では， LIFT法におけるエネルギー密度が，Nd-Fe-B系マイクロ磁石のドット形状や保磁力に及ぼす影響を検討したので報告する。

要約(英語): We have already reported the preparation of Nd-Fe-B micro-magnets on substrates without an annealing process via LIFT technique to apply permanent magnets to MEMS. In this study, we investigate the effect of energy density on the dot shape and coercivity of Nd-Fe-B micro-magnets.

本誌: 2024年11月21日-2024年11月22日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 1-4 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 514 Kバイト