放射光X線回折・吸収分光測定を用いた電子デバイス評価技術の紹介

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM24024

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2024/11/25

タイトル(英語): Electronic device characterization using synchrotron X-ray diffraction, and X-ray absorption spectroscopy measurements.

著者名: 渡辺 剛(公益財団法人高輝度光科学研究センター)

著者名(英語): Takeshi Watanabe(Japan Synchrotron Radiation Research Institute)

キーワード: 放射光Ｘ線|すれすれ入射Ｘ線回折測定|Ｘ線吸収分光測定|半導体材料|Synchrotron X-ray|Grazing incidence X-ray diffraction|X-ray absorption spectroscopy|Semiconductor materials

要約(日本語): 本稿では、我々がこれまでに取り組んできた放射光測定・解析技術開発の取り組みについて一部を紹介する。

要約(英語): We introduce some of the synchrotron measurement and analysis techniques that have been developed for electronic devices

本誌: 2024年11月28日-2024年11月29日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 83-85 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,408 Kバイト