カリウムイオンエレクトレットを利用した振動エナジーハーベスタ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM24025

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2024/11/25

タイトル(英語): Vibrational energy harvester using potassium ion electret

著者名: 本間 浩章(神戸大学)

著者名(英語): Hiroaki Honma(Kobe University)

キーワード: 振動エナジーハーベスタ|エレクトレット|ＭＥＭＳ|ＩｏＴ|vibrational energy harvester|electret|MEMS|IoT

要約(日本語): 普遍的に存在する微弱な環境振動を電力に変換可能な振動エナジーハーベスタを開発した。MEMS技術を用いて作製したシリコン櫛歯電極側面にカリウムを含んだエレクトレットを被膜することで、高密度の振動-電気変換機構を持つ静電型エナジーハーベスタを実現した。これにより、200 Hz以下の低周波振動において電力密度763 μW/cm3を達成し、センサや無線モジュールを搭載したIoT無線センサ端末の自立電源として応用が期待できる。

要約(英語): We develop an energy-harvesting device that uses an electrostatic comb-drive mechanism with potassium ion electret on the sidewalls. The volumetric power density of the developed device was increased to 763 μW/cm3.

本誌: 2024年11月28日-2024年11月29日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 87-90 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,018 Kバイト