次世代高周波フィルタに向けた分極反転AlN系多層膜弾性波デバイスの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM24026

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2024/11/25

タイトル(英語): Polarization inverted AlN-based film acoustic wave devices for next-generation high frequency filter applications

著者名: 鈴木 雅視(山梨大学)

著者名(英語): Masashi Suzuki(University of Yamanashi)

キーワード: 分極反転|ＡｌＮ圧電膜|スパッタ|弾性波デバイス|周波数フィルタ

要約(日本語): ６G等の次世代通信規格に対応するために弾性波デバイス・周波数フィルタには5 GHz以上の高周波動作が要求されている。従来デバイス構造ではデバイスの小サイズ化により高周波化が実現できるが，デバイス性能を犠牲にせざる負えないという課題がある。本講演では，高周波動作と大きなデバイス体積を両立する分極反転AlN系多層膜を用いたバルク弾性波デバイスの数値解析，形成，評価結果について紹介する。

要約(英語): Acoustic wave devices can be operated at high frequency by reducing the device size. However, excessive device miniaturization generally causes the degradation of device performance. In this study, we present polarization inverted AlN-based film bulk acoustic wave devices which are expected to combine high frequency operation and large device volume.

本誌: 2024年11月28日-2024年11月29日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 91-95 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,474 Kバイト