横振動触覚ディスプレイのための面内動作型SMA厚膜アクチュエータアレイの形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG24143,MSS24066,BMS24031

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2024/12/16

タイトル(英語): Fabrication of in-plane-deformable SMA thick film actuator array for lateral-vibrational tactile display

著者名: 長坂 慶大(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Yoshihiro Nagasaka(Yamagata University),Takashi Mineta(Ymagata University)

キーワード: 触覚ディスプレイ|横振動|ＳＭＡアクチュエータ|面内伸長|ＭＥＭＳ|Tactile display|Lateral vibration|SMA actuator|in-plane stretch|MEMS

要約(日本語): 皮膚が感知しやすいとされる横振動型の触覚ディスプレイのために、面内で往復動作するSMA厚膜アクチュエータアレイを設計して作製した。ループ形状の一対のSMAビーム(10 μm厚)を、Cu基板上に2 mmピッチでアレイ状に形成した。ビーム両端のフレーム部を基板ごと分割し、両側から水平に120 μmの初期引張を与え、左右のビームの交互加熱で収縮させる構造とした。基板分割のためのCu貫通エッチングパターンの最適化も行った。

要約(英語): A SMA thick film actuator array deformable in-plane was designed and fabricated for a lateral-vibrational tactile display. Nine SMA actuators with a pair of loop-shaped beams were arrayed on a Cu substrate (2 mm pitch). The SMA frame and Cu substrate suspending the beams were separated to stretch the beams by 120 μm for the alternate shrinkage in the vibrational actuation.

本誌: 2024年12月19日-2024年12月20日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会-1

本誌掲載ページ: 13-15 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,661 Kバイト