有機感ガス膜を持つFETを用いた小型集積化ガスセンサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG24153,MSS24076,BMS24041

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2024/12/16

タイトル(英語): A FET-based gas sensor with polymer layer as a gate material

著者名: 鷲巣 遥(東京農工大学),宮原 裕二(東京科学大学),田畑 美幸(東京農工大学)

著者名(英語): Haruka Washizu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yuji Miyahara(Institute of Science Tokyo),Miyuki Tabata(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: ガスセンサ|電界効果トランジスタ|エレクトリックノーズ|パターン認識|Gas-sensors|field-effect transistors|electric nose|pattern recognition

要約(日本語): 人間の感覚を模倣した機械はこれまで数多く開発されてきたが、ヒトと同等の嗅覚を備えたシステムは未だ完成していないため、パターン認識と交差反応性ガスセンサアレイの組み合わせによる人工電子鼻の実現が期待されている。本研究では、有機感ガス膜付FETを用いた交差反応性ガスセンサアレイの開発を検討する。現在までにゲート電極下のポリマー層によって応答パターンが変化することが確認できている。

要約(英語): Electric nose is a promising device as humanistic olfaction that composes of the cross-reactive sensor arrays and pattern recognition methods. We propose a cross-reactive sensor array using gas-sensitive field-effect transistor (FET) with a polymer layer on the gate structure. The signal patterns of threshold voltage in gas-FETs varied according to the polymer materials.

本誌: 2024年12月19日-2024年12月20日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会-1

本誌掲載ページ: 61-63 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,114 Kバイト