フレキシブル基板を利用した磁性膜の創製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG24154,MSS24077,BMS24042

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2024/12/16

タイトル(英語): Magnetic films prepared on flexible substrates

著者名: 岡村 和哉(長崎大学),東 倖主(長崎大学),田原 楽飛(長崎大学),網屋 拓輝(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),小池 邦博(山形大学),進士 忠彦(東京科学大学),中野 正基(長崎大学)

著者名(英語): Kazuya Okamura(Nagasaki university),Kosuke Higashi(Nagasaki university),Gakuto Tahara(Nagasaki university),Takuki Amiya(Nagasaki university),Akihiro Yamashita(Nagasaki university),Takeshi Yanai(Nagasaki university),Kunihiro Koike(Yamagata university),Tada

キーワード: Ｆｅ－Ｐｔ系磁石|剥離|薄帯|ＬＩＦＴ法|磁石膜|フレキシブル基板|Fe-Ptmagnets|exfoliation|thin sheets|LIFT technique|film magnets|flexible substrates

要約(日本語): 本研究では，MEMSへの永久磁石の応用を鑑み，熱処理を施すことなく，磁石をフレキシブル基板上に創製する方法を報告する。例えば，剥離を利用したFe-Pt系磁石薄帯やLIFT法による磁石膜の作製を報告する。

要約(英語): In order to apply permanent magnets to MEMS, this contribution reports the fabrication of magnets on flexible substrates without heat treatment. For example, preparations of Fe-Pt thin sheet magnets by using exfoliation behavior and film magnets via LIFT technique.

本誌: 2024年12月19日-2024年12月20日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会-1

本誌掲載ページ: 65-68 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,345 Kバイト