MEMSファブリペロー干渉計(FPI)を用いた光ファイバ圧力センサ用検出器

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG24170,MSS24093,BMS24058

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2024/12/16

タイトル(英語): The detector for fiber-optic pressure sensor using MEMS Fabry-Perot Interferometer (FPI)

著者名: 大平 結希(東北大学),鶴岡 典子(東北大学),戸津 健太郎(東北大学),松永 忠雄(鳥取大学),芳賀 洋一(東北大学)

著者名(英語): Yuki Ohira(Tohoku University ),Noriko Tsuruoka(Tohoku University),Kentaro Totsu(Tohoku University),Tadao Matsunaga(Tottori University),Yoichi Haga(Tohoku University)

キーワード: 光ファイバ圧力センサ|ファブリペロー干渉計|検出器|ギャップ長調整可能フィルター|可視光域|fiber-optic pressure sensor|Fabry-Perot interferometer|detector|tunable filter|VIS

要約(日本語): 本研究では，Fraunhofer研究機構で開発されたファブリペロー干渉計(FPI)を用いた光ファイバ圧力センサ用検出器を開発した．圧力センサ先端部に構成されたFPIは圧力印加によりギャップ長が変化し，この戻り光を検出器のFPIに入射する．検出器のFPIは正弦波電圧印加によりギャップ長が変化し，FPIを透過した光の強度変化を計測する．FPIへの印加電圧に対する光強度変化と，センサへの印加圧力との相関が確認でき，検出器としての有効性が示された．

要約(英語): This paper addresses development of detector for fiber-optic pressure sensor using FPI (Fabry-Perot Interferometer) developed by Fraunhofer Institute. Applied pressure changes gap length of the FPI of the pressure sensor. Reflected light from the sensor enters the FPI of detector, and the gap length of the FPI changes by applying sine wave driving voltage. Correlation between pressure applied to the sensor and light intensity change with applied voltage to FPI was confirmed.

本誌: 2024年12月19日-2024年12月20日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会-2

本誌掲載ページ: 51-55 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,632 Kバイト