タンデム型誘導熱プラズマによるSiナノ粒子合成法に対するコイル電流のAM波形形状制御が与える数値的影響の一検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI25038,EPP25038,HV25038

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料/【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー/【B】電力・エネルギー部門 高電圧合同研究会

発行日: 2025/01/19

タイトル(英語): A Numerical Study on the Effects of AM Waveform Shaping Control of Coil Current on Si Nanoparticle Synthesis UsingTandem-Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 岡野 里桜(金沢大学),田中 伶郎(金沢大学),小林 義隆(金沢大学),田中 康規(金沢大学),中野 裕介(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),末安 志織(日清製粉グループ本社),渡邉 周(日清製粉グループ本社),中村 圭太郎(日清製粉グループ本社)

著者名(英語): Rio Okano(Kanazawa University),Reo Tanaka(Kanazawa University),Noritaka Kobayashi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yusuke Nakano(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Shiori Sueyasu(Research Center for Production & Tecnol),Syu Watanabe(Research Center for Production & Tecnol),Keitaro Nakamura(Research Center for Production & Tecnol)

キーワード: タンデム型変調誘導熱プラズマ|ＡＭ波形制御|ナノ粒子合成|Tandem-Modulated Induction Thermal Plasma|AM waveform control|Nanoparticle synthesis

要約(日本語): 本報では，Tandem-PMITP+TCFF法を用いたSiナノ粒子合成に対する数値解析において， 下段コイル電流のAM波形制御を行った．今回，変調一周期の中に2度のOn-timeおよびOff-timeを設けることで，一周期にわたって原料蒸発を促進しながら，低温巻き込み流による高い急冷効果によってチャンバ領域の温度上昇が抑制された．本検討によって電流を任意波形で変調可能となり，原料供給タイミングに対する温度場のより詳細な制御の可能性が示された．

要約(英語): In this study, AM waveform shaping control of the lower coil current was applied in Si nanoparticle synthesis using the Tandem-PMITP+TCFF method. Introducing two On-time and Off-time periods per cycle enhanced material evaporation while suppressing chamber temperature rise, enabling precise control of the temperature field during feedstock feeding.

本誌: 2025年1月22日-2025年1月23日誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会-2

本誌掲載ページ: 85-90 p

原稿種別: 日本語