幅広いデューティ調整範囲を有する成膜装置向け方形波コンバータのトランス設計に基づく出力波形改善

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: SPC25016,MD25016

グループ名: 【D】産業応用部門 半導体電力変換/【D】産業応用部門 モータドライブ合同研究会

発行日: 2025/01/20

タイトル(英語): Output Waveform Improvement of Square Waveform Converter with Variable Duty for Coating Equipment Applications focusing on Transformer Design

著者名: 山本 晃生(長岡技術科学大学),楠居 琳太郎(長岡技術科学大学),渡辺 大貴(長岡技術科学大学),中田 祐樹(長岡技術科学大学),伊東 淳一(長岡技術科学大学)

著者名(英語): Koki Yamamoto(Nagaoka University of Technology),Rintaro Kusui(Nagaoka University of Technology),Hiroki Watanabe(Nagaoka University of Technology),Yuki Nakata(Nagaoka University of Technology),Jun-ichi Itoh(Nagaoka University of Technology)

キーワード: 絶縁型方形波コンバータ|薄膜成膜装置|高電圧パルス生成|Isolated square waveform converter|Thin film coating equipment|High voltage pulse generation

要約(日本語): 本論文では，成膜装置に用いる方形波コンバータのトランス寄生容量に起因する共振を抑制する手法を提案する。ここでは，出力方形波電圧立ち下がりに発生する共振原因を解明し，トランスの設計法を提案する。提案するトランス設計法では，巻線構造や磁性材料に基づいた寄生容量の抑制により，負荷電圧波形立ち下がりに発生する共振を低減する。実機実験により，幅広いデューティ範囲で負荷電圧波形の改善を確認したため報告する。

要約(英語): This paper proposes a resonance suppression method of square wave converters based on a transformer parasitic capacitance design. _x000D_ The proposed method suppresses resonance generated of the load voltage waveform based on the winding structure and magnetic material._x000D_ The experimental results showed that resonance of the load voltage waveform was suppressed.

本誌: 2025年1月23日-2025年1月24日半導体電力変換/モータドライブ合同研究会-1

本誌掲載ページ: 87-92 p

原稿種別: 日本語