PLD法におけるYBCOアブレーションプルームの撮影と主成分分析を用いた相関解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI25061

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2025/01/27

タイトル(英語): Imaging of YBCO ablation plumes in PLD method and correlation analysis using principal component analysis

著者名: 松田 遼太郎(愛知工業大学),佐々 文彌(愛知工業大学),藤田 竜也(愛知工業大学),田岡 紀之(愛知工業大学),清家 善之(愛知工業大学),森 竜雄(愛知工業大学),一野 祐亮(愛知工業大学/JST-CREST),堀尾 恵一(九州工業大学/JST-CREST),一瀬 中(電力中央研究所/JST-CREST),堀出 朋哉(名古屋大学/JST-CREST),松本 要(名古屋大学/JST-CREST),吉田 隆(名古屋大学/JST-CREST)

著者名(英語): Ryotaro Matsuda(Aichi Institute of Technology),Fumiya Sassa(Aichi Institute of Technology),Tatsuya Fujita(Aichi Institute of Technology),Taoka Noriyuki(Aichi Institute of Technology),Yoshiyuki Seike(Aichi Institute of Technology),Tatsuo Mori(Aichi Institute of Technology),Yusuke Ichino(Aichi Institute of Technology/JST-CREST),Keiichi Horio(Kyushu Institute of Technology/JST-CREST),Ataru Ichinose(Central Research Institute of Electric Power Industry/JST-CREST),Tomoya Horide(Nagoya University/JST-CREST),Kaname Matsumoto(Nagoya University/JST-CREST),Yutaka Yoshida(Nagoya University/JST-CREST)

キーワード: 超伝導|ＹＢＣＯ薄膜|ＰＬＤ法|プルーム|画像処理|主成分分析|Superconductivity|YBCO thin film|Pulsed Laser Deposition|Plume|Image Processing|Principal Component Analysis

要約(日本語): YBa2Cu3Oy(YBCO)薄膜の作製においてPulsed Laser Deposition(PLD)法は有効な成膜手法の一つである。PLD法では、YBCO ターゲットにレーザーを当てた際にプルームと呼ばれるプラズマが観測される。プルームはチャンバー内の環境の変化に伴い、色や形が変化する。本研究ではレーザーエネルギーと酸素圧力を変化させ、撮影したプルームの特徴と薄膜特性の相関について検討した。

要約(英語): Pulsed Laser Deposition is employed to fabricate YBCO thin films. When a laser is irradiated onto a YBCO target, a plasma plume is generated.　This study investigates the correlation between film properties and the color and shape of the plasma plume by varying laser energy and oxygen pressure.

本誌: 2025年1月30日-2025年1月31日誘電・絶縁材料研究会

本誌掲載ページ: 23-25 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,307 Kバイト