金回折格子を有するマイクロ振動子短波長赤外光センサの特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS25003

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2025/01/28

タイトル(英語): Optical Sensor based on microresonators with gold diffraction grating for short-wavelength infrared light

著者名: 関 拓郎(神戸大学),有永 尚樹(神戸大学),町田 篤哉(神戸大学),上杉 晃生(神戸大学),本間 浩章(神戸大学),菅野 公二(神戸大学),磯野 吉正(神戸大学)

著者名(英語): Takuro Seki(Kobe University),Naoki Arinaga(Kobe University),Atsuya Machida(Kobe University),Akio Uesugi(Kobe University),Hiroaki Honma(Kobe University),Koji Sugano(Kobe University),Yoshitada Isono(Kobe University)

要約(日本語): 化合物半導体ではなくシリコンを用いて短波長赤外線波長領域の光を高感度に検出するために，シリコン製マイクロ振動子を用いた共振型光センサを作製した。センサはくし歯型電極を用いた静電容量型アクチュエータと変位センサで構成される。また，特定の短波長赤外光を検出するため，金回折格子構造を集積している。作製したセンサデバイスの振動特性や光検出特性の評価を行った結果について報告する。

要約(英語): To detect light in the short-wavelength infrared region with high sensitivity using silicon instead of compound semiconductors, we fabricated a resonance-type optical sensor with a silicon micro-oscillator. The sensor consists of a capacitive actuator and a displacement sensor with comb-shaped electrodes. In addition, a gold-grating structure was integrated to detect specific short-wavelength infrared light. The vibration- and light-detection characteristics of the fabricated sensor devices were evaluated.

本誌: 2025年1月31日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 7-11 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,353 Kバイト