Si両持ちはりによるテラヘルツ検出デバイスに関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER25059,MSS25032

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム合同研究会

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): A Study on a Terahertz Detection Device Using Si-Based Double-Clamped Beam

著者名: 玉田 晃大(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),橫松 得滋(兵庫県立大学),張 亜(東京農工大学),平川 一彦(東京大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Akihiro Tamada(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Tokuji Yokomatsu(University of Hyogo),Ya Zhang(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kazuhiko Hirakawa(University of Tokyo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: ＭＥＭＳ|テラヘルツ波|共振|Ｑ値|両持ちはり|ＰＺＴ|MEMS|terahertz wave|resonance|quality factor|double-clamped beam|PZT

要約(日本語): 現在、小型高速のテラヘルツ波検出器の需要が高まっている。本研究では、MEMS技術によるテラヘルツ波検出のアプローチとして、Si両持ちはりの両固定端にPZTの圧電セルを形成し、一方を駆動、他方を検出として自己共振振動を励起、その共振周波数が梁へのテラヘルツ波照射時に変化することを利用してテラヘルツ波検出を目指している。本報告でははりの幅や長さ、PZTの駆動面積の変化が振動に及ぼす影響について述べる。_x000D_

要約(英語): THz-wave sensor device based on the resonant frequency change is proposed and the influence of dimensions of device is investigated in this study. The driving PZT cells are formed on the both ends of Si beam. Through the frequency-profile measurements in vacuum condition as parameters of beam length and PZT length, guidelines for optimum device design are obtained.

本誌: 2025年3月4日交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 147-150 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,414 Kバイト