熱可塑性エラストマ封止MEMS触覚センサによる曲げ・ねじり・荷重検知

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER25060,MSS25033

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム合同研究会

発行日: 2025/03/01

タイトル(英語): Detection of Bending, Torsion, and Force Using MEMS Tactile Sensor Embedded in Thermoplastic Elastomer

著者名: 寒川 雅之(新潟大学),若林 陽彩(新潟大学),安部 隆(新潟大学),野間 春生(立命館大学)

著者名(英語): Sohgawa Masayuki(Niigata University),Hiiro Wakabayashi(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Haruo Noma(Ritsumeikan University)

キーワード: 触覚センサ|熱可塑性エラストマ|射出成形|カンチレバー|曲げ・ねじり検知|Tactile Sensor|Thermoplastic Elastomer|Injection Molding|Cantilever|Bending and Torsion Sensor

要約(日本語): ロボットハンドの把持制御や手作業のデータ化のため、我々はMEMS検知素子をエラストマでシート状に封止することにより荷重に加え曲げやねじりを検知できるセンサを開発しており、エラストマ材料として従来の熱硬化性樹脂に代えて熱可塑性樹脂による射出成形を用いることでより量産性の高い作製を可能とした。本研究では、材料の違いによる曲げ・ねじり・荷重に対する応答を詳細に比較した結果について報告する。

要約(英語): We have developed a tactile sensor with MEMS cantilevers embedded in an elastomer sheet that can detect bending and torsion in addition to force for grasp control of a robotic hand and for data processing of human operations. Injection molding with thermoplastic elastomer instead of the previous thermosetting elastomer enables more mass-producible fabrication. This paper reports the results of a detailed comparison of the response to bending, torsion, and load with different elastomer materials.

本誌: 2025年3月4日交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 151-154 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,557 Kバイト