フレキシブル基板上GdFeCoフェリ磁性薄膜の異常ホール効果を利用した物体の機械的変形検出素子形成の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG25013

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2025/03/04

タイトル(英語): Investigation of mechanical deformation sensing element utilizing the anomalous Hall effect of GdFeCo ferrimagnetic thin film stacked on flexible substrate

著者名: 藤井 優樹(日本大学大学院理工学研究科),小林 祐希(日本大学大学院理工学研究科),笠谷 雄一(日本大学理工学部),吉川 大貴(日本大学理工学部),塚本 新(日本大学理工学部)

著者名(英語): yuki fujii(Graduate School of Science and Technology, Nihon University),yuki kobayashi(Graduate School of Science and Technology, Nihon University),yuichi kasatani(College of Science and Technology, Nihon University),hiroki yoshikawa(College of Science and Technology, Nihon University),arata tsukamoto(College of Science and Technology, Nihon University)

キーワード: 機械的変形検出|異常ホール効果|磁性薄膜|フレキシブル基板|希土類遷移金属合金|Mechanical deformity detection|anomalous Hall effect|magnetic thin films|Flexible substrate|Rare earth-transition metal alloys

要約(日本語): 物体の機械的変形を電気的に検出可能なセンサ素子形成を目的とし、本研究では薄膜形状変化に伴う磁気特性の変化を異常ホール電圧により検出を試みた。フレキシブル基板上に希土類遷移金属磁性合金薄膜を形成し、種々の形状状態における異常ホール電圧特性を計測、機能性を評価した。結果、本系で試料の形状状態により異なる電圧特性を示すことを確認した。さらに機械的変形を加えた後にも元の電圧特性に回復することを確認した。

要約(英語): In this study, we investigate electrical detecting mechanical deformation sensor utilizing the anomalous Hall effect of magnetic thin film. We measured the anomalous Hall voltages under various deformed shapes of GdFeCo film stacked on flexible substrate. The voltages show various characteristics under the each shapes and its recoverability.

本誌: 2025年3月7日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 17-21 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,413 Kバイト