PLD-LIFT法で創製したマイクロ磁石

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD25005

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2025/05/22

タイトル(英語): Micromagnets fabricated by PLD-LIFT method

著者名: 田原 楽飛(長崎大学),網屋 拓輝(長崎大学),轟木 捷斗(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),板倉 賢(九州大学),小池 邦博(山形大学),中野 正基(長崎大学)

著者名(英語): Gakuto Tahara(Nagasaki university),Takuki Amiya(Nagasaki university),Hayato Todoroki(Nagasaki university),Akihiro Yamashita(Nagasaki university),Takeshi Yanai(Nagasaki university),Masaru Itakura(Kyushu university),Kunihiro Koike (Yamagata university),Masaki Nakano(Nagasaki university)

キーワード: ＰＬＤ法|ＬＩＦＴ法|マイクロ磁石|低温創製|ＹＡＧ　レーザ|レーザエネルギ－密度|PLD method |LIFT technique|micromagnets|low temperature process|YAG laser|laser energy density

要約(日本語): マイクロ磁石のフレキシブルMEMSへの利用を鑑み，本発表では，PLDで作製したマイクロ磁石をドナ―として，LIFT法による有機材料：PDMS上に転送成膜したマイクロ磁石の磁気特性の評価，結晶構造や微細構造観察した結果を中心に報告する。

要約(英語): This research prepares Nd?Fe?B micro-magnets using a low-temperature process. Specifically, we used a laser-induced forward-transfer (LIFT) technique that employs Nd?Fe?B films fabricated using pulsed laser deposition (PLD). LIFT-made micro-magnets with a dotted pattern could be obtained by using an optical shatter and Galvano scanner.

本誌: 2025年5月25日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 23-24 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 479 Kバイト