レーザー生成超音波によるレーザー穴開けの制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD25007

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2025/05/22

タイトル(英語): Laser drilling controlled with laser-generated ultrasound

著者名: 山内 楓(宇都宮大学),渡辺 竣斗(宇都宮大学),三浦 拓真(宇都宮大学),早崎 芳夫(宇都宮大学)

著者名(英語): Kaede Yamauchi(Utsunomiya University),Shunto Watanabe(Utsunomiya University),Takuma Miuara(Utsunomiya University),Yoshio Hayasaki(Utsunomiya University)

要約(日本語): レーザー生成超音波の計測結果をもとづいて対物レンズの位置を制御して，大きなアスペクト比を有するレーザー穴開けを実現する．

要約(英語): Laser drilling of glass using tightly focused femtosecond laser pulses while monitoring laser-generated sound is demonstrated, aiming laser drilling controlled by laser-generated sound.

本誌: 2025年5月25日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 29-32 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,276 Kバイト