MEMSマルチモーダルセンサによる多項目ガス検出

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS25022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Advanced Multi-Gas Detection Using MEMS-Based Multimodal Sensing Systems

著者名: 權 益賢(豊橋技術科学大学),十亀 龍星(豊橋技術科学大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Ik-Hyun Kwon(Toyohashi University of Technology),Ryusei Sogame(Toyohashi University of Technology),Yong-Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology)

キーワード: ＭＥＭＳ|マルチモーダルセンシング|表面応力|共振周波数シフト|揮発性有機化合物|ガス識別|MEMS sensor|Multimodal sensing|Surface stress|Resonant frequency shift|VOCs|Gas identification

要約(日本語): 質量と表面応力の同時測定が可能なMEMSマルチモーダルセンサーを用いて、エタノールおよびアセトンに対する応答特性の差異を取得した。この結果は、分子吸着に起因する物理パラメータの変化を利用したガス識別技術としての有効性を示唆している。

要約(英語): Using a MEMS multimodal sensor capable of simultaneously measuring mass and surface stress, we observed different responses to ethanol and acetone gases. Based on differences in molecular adsorption-induced mass changes and surface stress, the sensor demonstrated potential for selective gas identification.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日ケミカルセンサ研究会

本誌掲載ページ: 43-46 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,332 Kバイト