酸化亜鉛薄膜の基板材料と成膜温度が及ぼすガスセンサ特性への影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS25024

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Effects of Substrate Materials and Deposition Temperature on Gas Sensing Properties of ZnO Thin Films

著者名: 佐藤 了哉(千葉工業大学),安藤 毅(千葉工業大学)

著者名(英語): Ryoya Sato(Chiba Institute of Technology),Ki Ando(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 酸化亜鉛|ガスセンサ|結晶構造|結晶配向性|基板依存性|温度依存性|Zinc Oxide|Gas Sensor|Crystal Structure|Crystal Orientation|Substrate Dependency|Temperature Dependency

要約(日本語): 本研究では，ガスセンサの感度向上を目的として，異なる結晶構造を持つ，アルミナ焼結体，合成石英ガラス，サファイア，シリコンの各基板材料に対し，800 °Cまで成膜温度を変化させて酸化亜鉛薄膜を成膜し比較した。特徴的な結果の一つとして，合成石英ガラス基板上に成膜した酸化亜鉛薄膜は，基板材料が非晶質材料であること，そして成膜温度が室温であるにもかかわらず，高い配向性と高いガス感度を示した。

要約(英語): In this study, ZnO thin films were deposited on substrates with different crystal structures―alumina ceramics, quartz glass, sapphire, and silicon―at different deposition temperatures up to 800?°C. As one of the results, although the quartz glass substrate is noncrystalline and the film was deposited at room temperature, it exhibited high orientation and gas sensitivity.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日ケミカルセンサ研究会

本誌掲載ページ: 53-58 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,400 Kバイト