光計測法によるpHと波長の検出可能なセンサの提案と製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS25031

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Fabrication of pH and wavelength detection sensor by optical measurement method

著者名: 相澤 文克(豊橋技術科学大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),井出 智也(豊橋技術科学大学),野田 佳子(豊橋技術科学大学),飛沢 健(豊橋技術科学大学),赤井 大輔(豊橋技術科学大学),木村 安行(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Fuminari Aizawa(Toyohashi University of Technology),Yong-Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Tomoya Ide(Toyohashi University of Technology),Yoshiko Noda(Toyohashi University of Technology),Ken Hizawa(Toyohashi University of Technology),Daisuke Akai(Toyohashi University of Technology),Yasuyuki Kimura(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology)

キーワード: フィルタフリー|光計測型|ｐＨセンサ|波長センサ|ＣＭＯＳプロセス|Filter-free| optical measurement|pH sensor|wavelength sensor|CMOS process

要約(日本語): 本稿では，単一画素で光計測により光波長と溶液のpHを検出可能なCMOS光デバイスを報告する．pH検出のため受光領域を窒化ケイ素膜で成膜し，n型シリコンウェハ上に1ポリ，2メタル，5 μmルールのプロセスでデバイスを製作した．提案するセンサの検証として，光波長とpHの変化に対する電流特性の計測を行った．可視光領域の波長に応じて電流比率の変化が確認でき，単一波長照射時のpH変化に対して29.6 m/pHの電流比率が得られた．

要約(英語): This paper reports a single-pixel CMOS optical sensor for the detection of light wavelength and pH by optical measurement method. Fabricated on an n-Si wafer with a nitride film for pH sensing, the sensor's current response to varying wavelengths and pH showed distinct changes, achieving 29.6 m/pH sensitivity under single-wavelength illumination.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日ケミカルセンサ研究会

本誌掲載ページ: 89-92 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,363 Kバイト