MEMS触覚ディスプレイ用の面内動作型SMA厚膜アクチュエータアレイの形成と変形特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS25044

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Fabrication and characterization of in-plane-deformable SMA thick film actuator array for MEMS tactile display

著者名: 長坂 慶大(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Nagasaka Yoshihiro(Yamagata university),Mineta Takashi(Yamagata university)

キーワード: 触覚ディスプレイ|横振動|ＳＭＡアクチュエータ|面内動作|ＭＥＭＳ|Tactile display|Lateral vibration|SMA actuator|in-plane deformable|MEMS

要約(日本語): 皮膚が敏感である横振動型の触覚提示のために、面内で往復動作するSMA厚膜アクチュエータアレイ(2 mmピッチ)を設計して作製した。一対のSMA伸縮ビーム(10 μm厚)をCu基板上に形成し、左右のビームを交互に加熱収縮するために、ビーム両端のフレーム部を基板ごと分割し、基板湾曲により両側から初期引張を与える手法を考案した。低温相および高温相でのビームの剛性を測定し、触覚提示に十分な振幅と発生力の見通しを得た。

要約(英語): A in-plane-deformable SMA thick film actuator array (2 mm pitch) was designed and fabricated for a lateral-vibrational tactile stimulation. After the pair of stretchable SMA beams were formed on a Cu substrate, the SMA frame and Cu substrate suspending the beams were separated to stretch the beams for the alternate shrinkage in pulse heating. The measured beam stiffness showed that sufficient output was expected for the tactile stimulation.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 5-8 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,523 Kバイト