チタン製探針を有するカンチレバー作製のための要素技術の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS25048

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Development of elemental technologies for the fabrication of cantilevers with titanium tips

著者名: 秦 夷之(新潟大学),荻原 公平(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Yizhi QIN(Niigata University),Kohe OGIWARA(Niigata University),Masayuki SOHGAWA(Niigata University),Takashi ABE(Niigata University)

キーワード: ＭＥＭＳ|チタン|プローブ|電解エッチング|探針|電気化学|MEMS|Titanium|Probe|Electrolytic etching|Probes|Electrochemistry

要約(日本語): 微小な探針を有する金属プローブ技術は、表面の電気特性の計測、電気化学的加工などへの応用が期待される。シリコン製プローブは、精度面で格段に優れた技術であるが、衝撃耐久性に課題がある。そこで、我々は、電解エッチング法で、チタン製探針構造を有する微小カンチレバーの製造技術の開発を行っている。本研究では、カンチレバーを作製する技術と探針をその上に作製する技術の開発を実施したので、その詳細について報告する。

要約(英語): Metal probe technology with microscopic probes is expected to be applied to the measurement of surface electrical properties and electrochemical processing. Silicon probes are a much superior technology in terms of accuracy, but they have a problem with shock durability. Therefore, we are developing a fabrication technique for micro cantilevers with a titanium probe structure using an electrolytic etching method. In this study, we have developed a technique for fabricating cantilevers and a technique for fabricating tips on them, and we report on the details of the technique.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 23-26 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,483 Kバイト