ドライエッチングした全フッ素化プラスチック光ファイバのLPGセンサ応用の初期検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS25050

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Preliminary Investigation of LPG Sensor Applicaions Using Dry-Etched Perfluorinated Plastic Optical Fibers

著者名: 石田 啓人(立命館大学),李 ひよん(芝浦工業大学),水野 洋輔(横浜国立大学),山根 大輔(立命館大学)

著者名(英語): Keito Ishida(Ritsumeikan University),Heeyoung Lee(Shibaura Institute of Technology),Yousuke Mizuno(Yokohama National University),Daisuke Yamane(Ritsumeikan University)

キーワード: 全フッ素化プラスチック光ファイバ|ポリカーボネート|反応性イオンエッチング|ひずみセンサ|応力シミュレーション|ＬＰＧセンサ|Perfluorinated plastic optical fibers|Polycarbonate|Reactive ion etching|Strain sensors|Stress Simulation|Long Period Grating sensors

要約(日本語): 当グループは、全フッ素化プラスチック光ファイバ（PF-POF）を用いたLPG（Long Period Grating）センサの特性制御に向け反応性イオンエッチング（RIE）を用いた補強層加工を提案し、研究中である。今回、シミュレーションによりエッチング深さが増すことでコア層とクラッド層の応力差が増大することを明らかにし、補強層をRIE加工することでPF-POFひずみセンサの感度向上の見通しを得た。

要約(英語): We develop a PF-POF reinforcement layer process using an RIE process to control the characteristics of PF-POF LPG sensors. Simulations reveal that the stress distribution difference between the core and cladding layers increases with increasing the etching depth, which could be useful to control the sensitivity of the LPG sensors.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 33-34 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,044 Kバイト