Force Rebalance制御をともなった静電式共振加速度センサの周波数変調方式と位相変調方式による動作検証

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS25052

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Operation Verifications of Electrostatic Resonant Accelerometer with Force-Rebalance Control Using Frequency Modulation and Phase Modulation Systems

著者名: 野呂 拓未(名城大学),近藤 大暉(名城大学),瀬古 拓翔(名城大学),池森 諒(名城大学),畑 良幸(名城大学)

著者名(英語): Takumi Noro(Meijo university),Daiki Kondo(Meijo university),Takuto Seko(Meijo university),Ryo Ikemori(Meijo university),Yoshiyuki Hata(Meijo university)

キーワード: 共振加速度センサ|Ｆｏｒｃｅ　Ｒｅｂａｌａｎｃｅ|周波数変調|位相変調|Resonant accelerometer|Force rebalance|Frequency modulation|Phase modulation

要約(日本語): これまで，周波数変調によって加速度を検知する静電式共振加速度センサとForce Rebalance(FR)制御を融合した加速度検知方式を実証した。本研究では，同じセンサ構造を用いた位相変調による加速度検知方式と，それにFR制御を融合した加速度検知方式を提案する。周波数変調，位相変調，これらにFR制御を適用した計4つの検知方式による動作を実証し，FR制御による非直線性の改善を確認した。

要約(英語): We have previously demonstrated a sensor system of acceleration detection that combines an electrostatic resonant accelerometer inducing frequency modulation and force-rebalance control. In this study, we propose a sensor system by phase modulation, and that with force-rebalance control. The operations by frequency modulation, phase modulation, and those with force-rebalance controls were demonstrated, and the force-rebalance controls improved non-linearity.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 41-46 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,237 Kバイト