TiNi合金パイプへの円筒リソグラフィによる多電極搭載型カテーテルの一括形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS25055

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Batch-fabrication of catheter with multi-electrode using cylindrical lithography on a TiNi alloy pipe

著者名: 大和 舜(山形大学),今野 竜之介(山形大学),小川 明(アクトメント),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Shun Yamato(Yamagata University),Ryunosuke Konno(Yamagata University),Akira Ogawa(ACTMENT),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: 電極|カテーテル|円筒リソグラフィ|ＴｉＮｉ合金パイプ|Electrode|Catheter|Cylindrical lithography|TiNi alloy pipe

要約(日本語): 心臓診断治療用の電極搭載型カテーテルの一括形成を目指し、超弾性TiNiパイプ(φ2.3 mm, 60 mm長)上への電極パターンの形成手法を考案した。パイプ表面上にポリイミド絶縁膜を均一な膜厚で被覆後に、Au/Cr膜を回転スパッタリング成膜し、円筒フォトリソグラフィおよびエッチングで複数の電極および配線パターンを円筒面上に形成した。TiNiパイプとAu/Cr電極および配線間の耐電圧も評価した。

要約(英語): A catheter with multi-electrode on a super-elastic TiNi alloy pipe (φ2.3 mm, 60 mm long) was fabricated using cylindrical lithography. The multi-electrode and electric line patterns were formed on the uniformly-coated insulating polyimide film by cylindrical lithography and etching of rotationally-sputtered Au/Cr film on the pipe surface. Consequently, the dielectric breakdown voltage of the insulating film was evaluated.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 57-59 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,778 Kバイト