独立振動子を用いた応力検知型ガスセンサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS25056

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Stress detection type gas sensor with an independent resonator

著者名: 堀口 真央(東北大学),小野 崇人(東北大学),戸田 雅也(東北大学)

著者名(英語): Mao Horiguchi(Tohoku University),Takahito Ono(Tohoku University),Masaya Toda(Tohoku University)

キーワード: 応力センサ|ガスセンサ|ポリマー|ＭＥＭＳ|共振型センサ|振動モード|Stress sensor|Gas sensor|Polymer|MEMS|Resonant sensor|Vivration mode

要約(日本語): 応力センサの感度を向上させるため、シリコン振動子が独立して振動するモードが得られる面内応力センサを開発した。振動子の独立振動により、Q値が3.4倍向上した。また、水に対する共振周波数の変化量、変化率ともに先行研究を上回り、ガスの種類によってはppmレベルでの検知が可能となった。

要約(英語): We fabricated an in-plane stress sensor with the resonator vibrating of the Si resonator to improve its stress sensitivity. Q factor improved by 3.4 times. This sensor exceeded previous studies in the amount and rate of change of resonance frequency to water vapor, and can detect some types of gases at the ppm level.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 61-65 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,051 Kバイト