計測対象の状態変化に対応可能なイオンイメージセンサの作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS25019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Fabrication of ion image sensor that enables adapting to state change of measurement target

著者名: 佐藤 諒芽(豊橋技術科学大学),本庄 瑠奈(豊橋技術科学大学),野田 佳子(豊橋技術科学大学),赤井 大輔(豊橋技術科学大学),飛沢 健(豊橋技術科学大学),木村 安行(豊橋技術科学大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Ryoga Sato(Toyohashi University of Technology),Runa Honjo(Toyohashi University of Technology),Yoshiko Noda(Toyohashi University of Technology),Daisuke Akai(Toyohashi University of Technology),Takeshi Hizawa(Toyohashi University of Technology),Yasuyuki Kimura(Toyohashi University of Technology),Yong-Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology)

キーワード: イオンイメージセンサ|ｐＨ計測|ＣＭＯＳセンサ|農業用センサ|長期計測|特性ドリフト|ion image sensor|pH measurement|CMOS sensor|agricultural sensor|long-term measurement|characteristic drift

要約(日本語): 我々の研究グループでは，植物体内のpHを測定可能な刺入型イオンイメージセンサが開発されてきた．しかし，長期測定時では計測対象の状態変化により，pH検出誤差が生じる課題がある．そこで，特性の異なる2つのセンサ画素を組み合わせることで，特性変動に対応可能な手法を提案し，センサ設計，作製を行った．試作したセンサは提案手法に対応した特性が得られたため，長期測定時の計測対象の状態変化への対応に期待できる．

要約(英語): To measure in-vivo information of plants, an insertion type sensor was developed to solve the challenge of pH detection errors due to characteristic drift during long-term measurements. The proposed solution involved combining two ion imaging pixels with different characteristics to eliminate the influence of characteristic drift. The sensor was designed and fabricated accordingly. As a result, the completed sensor exhibited performance suitable for the proposed method, raising expectations to solve characteristic drift during long-term measurements.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日バイオ・マイクロシステム研究会

本誌掲載ページ: 49-54 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,639 Kバイト