フォトゲート型光センサによる波長分離法の提案と検証

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS25063,CHS25038,BMS25025

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2025/05/26

タイトル(英語): Proposal of wavelength separation method for photogate type optical sensor

著者名: 加藤 結衣(豊橋技術科学大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),井出 智也(豊橋技術科学大学),野田 佳子(豊橋技術科学大学),飛沢 健(豊橋技術科学大学),赤井 大輔(豊橋技術科学大学),木村 安行(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Yui Kato(Toyohashi University of Technology),Yong Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Tomoya Ide(Toyohashi University of Technology),Yoshiko Noda(Toyohashi University of Technology),Takeshi Hizawa(Toyohashi University of Technology),Daisuke Akai(Toyohashi University of Technology),Yasuyuki Kimura(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi (Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 分光分析|波長分離|フィルタフリー|光センサ|エピタキシャル基板|spectral analysis|wavelength separation|filter-free|optical sensor|epitaxial substrate

要約(日本語): 本稿では、エピタキシャル構造のフォトゲート型光センサと従来の二重拡散well構造のセンサの波長応答特性の比較と波長分離検証の結果を報告する。エピタキシャル構造のセンサは、基板内部の電位を大きく変位させるため、厚さ20 μmの低不純物濃度層を有するn型エピタキシャル基板を用いている。エピタキシャル構造のセンサは従来構造のセンサと比較し、波長毎の電流特性の違いが大きく得られ、波長分離精度向上を確認した。_x000D_

要約(英語): This paper reports the results of a comparison of wavelength response characteristics between a sensor formed on an epitaxial substrate with low impurity concentration and a sensor with a double diffusion well structure. In the verification of dual-wavelength separation for the sensor with epitaxial structure, the maximum error was kept to about 1.3%, demonstrating the possibility of high-precision simultaneous multi-wavelength detection.

本誌: 2025年5月29日-2025年5月30日マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 21-25 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,389 Kバイト