対向発散磁界下誘導結合プラズマにおける共鳴域電子加熱の駆動周波数および励磁コイル間隔依存性

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EPP25052

グループ名：【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日：2025/6/8

タイトル(英語)：Dependence of electron heating in the resonant region in an inductively coupled plasma under confronting divergent magnetic fields on driving frequency and magnetic coil separation

著者名：山北 瑛伍(北海道大学),岡崎 凌大(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語)： Eigo Yamakita(Hokkaido University),Ryota Okazaki(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University)

キーワード：誘導結合磁化プラズマ,共鳴磁界域,電子エネルギー利得,部分共鳴,モンテカルロシミュレーション,磁界設計,inductively coupled plasma,resonant magnetic field region,electron energy gain,partial resonance,Monte Carlo method,magnetic field design

要約(日本語)：電子閉じ込め機能を持つ対向発散磁界下の誘導結合ラジオ周波数プラズマ中の電子エネルギー獲得機構に着目し２つの励磁コイルの間隔と駆動周波数を変え電子加熱を評価した。各駆動周波数毎に異なるコイル間隔で共鳴域での電子加熱が高い条件があった。従来の１３．５６ＭＨｚ駆動では当該条件では磁界が弱く電子閉じ込め効果 が小さかった。２倍・３倍高周波駆動では閉じ込めを効かせつつより高い電子加熱が得られることが分かった。

要約(英語)：This study focuses on the electron energy gain mechanism in inductively coupled plasma under a magnetic field applied for electron confinement. When magnetic coils are appropriately arranged and driven at a higher frequency than before, the electrons are more heated and confined in a strong magnetic field efficiently.

本誌：2025年6月11日-2025年6月13日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-1

本誌掲載ページ：29-34p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：2,106Kバイト