単結晶ダイヤモンド成長用鋸波変調誘導熱プラズマに対する原料CH4ガス間歇供給遅れ時間の影響

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EPP25054

グループ名：【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日：2025/6/8

タイトル(英語)：Effect of Delay Time of Intermittent Injection of CH4 Gas on Saw-Wave Modulated Induction Thermal Plasma for Single Crystal Diamond Growth

著者名：松田 航征(金沢大学　),田中 康規(金沢大学),中野 裕介(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語)： Kosei Matsuda(Kanazawa university),Yasunori Tanaka(Kanazawa university),Yusuke Nakano(Kanazawa university),Tatsuo Ishijima(Kanazawa unibersity)

キーワード：変調誘導熱プラズマ,のこぎり波変調,間歇供給,単結晶ダイヤモンド,電磁熱流体解析,分光観測,Modulated Induction Thermal Plasma,Saw-wave modulation,Intermittent injection,Single Crystal Diamond,Numerical thermo-fluid simulation,Spectroscopic observation

要約(日本語)：筆者らはダイヤモンド成長用にAr/H2変調誘導熱プラズマを用い，さらに原料CH4ガスの間歇供給法を検討している。変調熱プラズマは電流波形を任意変調し生成ラジカル量を時間的に制御でき，原料ガス間歇供給による原料ガスの効率的解離を期待している。本稿では原料CH4の供給タイミングが基板照射種の挙動に与える効果を電磁熱流体解析および時分解分光観測により調べ，炭素系ラジカルの制御可能性を明らかにした。

要約(英語)：The effect of intermittent CH4 gas feeding timing in Ar/ H2 modulated induction thermal plasmas was investigated on dynamics of radicals irradiated to substrates by numerical thermo-fluid simulation and time-resolved spectroscopic observations. The results suggest the possibility of controlling carbon radicals.

本誌：2025年6月11日-2025年6月13日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-1

本誌掲載ページ：41-46p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：2,912Kバイト