150 kHz帯大電力パルスバースト型高周波放電のガス種依存性

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EPP25057

グループ名：【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日：2025/6/8

タイトル(英語)：Gas Species Dependence of High-Power Pulse-Burst RF Discharges in the 150 kHz Band

著者名：中居林 優(岩手大学),髙橋 直宏(岩手大学),高橋 克幸(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),向川 政治(岩手大学)

著者名(英語)： Yu Nakaibayashi(Iwate University),Naohiro Takahashi(Iwate University),Katsuyuki Takahashi(Iwate University),Kouichi Takaki(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University)

キーワード：低気圧プラズマ,プロセスプラズマ,誘導結合プラズマ,Low-pressure plasma,process plasma,Inductively coupled plasma

要約(日本語)：150 kHz帯の大電力パルスバースト高周波放電の特性を明らかにするため, ガス種依存性について検討した。ICCDカメラ, ダブルプローブ計測, 分光器によってAr, N2, O2放電の時間特性について評価した。放電進展を観測したところ, 発光はリアクタ内壁部から中心部へと進展し, それぞれ発光由来に違いがあると確認された。この結果からパルスバースト高周波放電には2つの放電原理があるということが分かった。

要約(英語)：To elucidate the characteristics of high power pulsed burst RF discharges, the dependence on gas species was investigated. The time characteristics of the discharges were evaluated using an ICCD camera and the results show that there are two principles of discharges.

本誌：2025年6月11日-2025年6月13日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-1

本誌掲載ページ：59-64p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：6,038Kバイト