大気圧マイクロ波プラズマの放電様相の観測と放電モードの同定

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EPP25067

グループ名：【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日：2025/6/8

タイトル(英語)：Observation of Spacial Discharge Patterns of Atmospheric Pressure Microwave Plasma and Identification of Discharge Mode

著者名：二部 汐栞(岩手大学大学院),小宮 佳恵(岩手大学大学院),鎌田 貴晴(八戸工業高等専門学校),高橋 克幸(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),向川 政治(岩手大学)

著者名(英語)： Shiori Nibu(Iwate University Graduate School),Kae Komiya(Iwate University Graduate School),Takaharu Kamada(National Institute of Technology, Hachinohe College),Katsuyuki Takahashi(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University)

キーワード：マイクロ波プラズマ,表面波放電,放電様相,分散関係式,ＴＭモード,Microwave Plasma,surface wave discharge,discharge pattern,dispersion relation,TM mode

要約(日本語)：大気圧マイクロ波プラズマを生成し、誘電体表面上の放電様相の観測を行った。分散関係式を、関数の解析構造を保つように計算した。プラズマ生成にはCO2, Heを用い、入射電力と反射電力を独立に制御した。その結果、TM01・TM11・TM21モード放電を同定した。

要約(英語)：Atmospheric pressure microwave plasma was generated, and the discharge pattern on the dielectric surface was observed. Dispersion relation was calculated to preserve the analytical structure of function. CO2 and He were used to generate plasma, and the incident and reflected power were independently controlled. As a result, TM01, TM11, and TM21 mode discharges were identified.

本誌：2025年6月11日-2025年6月13日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-2

本誌掲載ページ：39-42p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：2,356Kバイト