コロナ－グリッド電極系を用いた高抵抗ウエハの非接触式体積抵抗率測定におけるグリッド電圧の効果

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EPP25079

グループ名：【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日：2025/6/8

タイトル(英語)：Effect of grid voltage for a non-contact volume resistivity measurement of high resistivity wafers using corona-grid electrodes.

著者名：加藤 詢平(山形大学),杉本 俊之(山形大学)

著者名(英語)： shunpei Kato(yamagata university),Toshiyuki Sugimoto(yamagata university)

キーワード：体積抵抗率,ＳｉＣウエハ,半絶縁性,半導体,コロナ放電,非接触測定,Resistivity,Silicon carbide,Semi-insulating,Semiconductor,Corona discharge,Non-contact measurement

要約(日本語)：我々は、コロナ放電を用いて高抵抗ウエハの非接触抵抗測定法の検討を行ってきた。本方式は、針対グリッド電極からなるコロナ帯電装置および除電装置で構成され，板状の被測定物を非接触で挟み込むように設置することで、被測定物に加わる電圧および流れる電流を測定し、ウエハの体積抵抗率を推定する。本研究では、帯電側および除電側のグリッド間の電圧を変化させることで、その測定感度が変化することを明らかにした。

要約(英語)：We have been investigated a non-contact resistance measurement method for high-resistance wafers using corona discharge. This method consists of a corona charging device and a static eliminator consisting of a needle pair grid electrode. In this study, we found that the measurement sensitivity changes by varying the voltage between the grids on the charging and static elimination sides.

本誌：2025年6月11日-2025年6月13日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-3

本誌掲載ページ：11-12p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：986Kバイト