準大気圧下マイクロ波放電のフィラメント構造の生成と放電様相の観測

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EPP25082

グループ名：【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日：2025/6/8

タイトル(英語)：Generation of filament structure of microwave discharge and observation of the discharge configuration in sub-atmospheric pressure

著者名：小宮 佳恵(岩手大学),二部 汐栞(岩手大学),佐々木 善太郎(岩手大学),鎌田 貴晴(八戸工業高等専門学校),高橋 克幸(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),向川 政治(岩手大学)

著者名(英語)： Kae Komiya(Iwate University),Shiori Nibu(Iwate University),Zentarou Sasaki(Iwate University),Takaharu Kamada(National Institute of Technology Hachinohe College),Katuyuki Takahashi(Iwate University, Faculty of Science and Engineering),Koichi Takaki(Iwate University, Faculty of Science and Engineering),Seiji Mukaigawa(Iwate University, Faculty of Science and Engineering)

キーワード：マイクロ波放電,フォトニック結晶,プラズマフィラメント,表面波,準大気圧,microwave discharge,photonic crystals,plasma filament,surface wave,sub-atmospheric pressure

要約(日本語)：準大気圧下でマイクロ波放電のプラズマフィラメントを真空容器内に電極棒を設置することで生成し、放電様相の観測を行った。無電極放電では入射電力と反射電力を制御することで誘電体上にTM01、TM11モードの表面波が生成された。誘電体上の表面波の腹の直下に電極棒を配置することで、プラズマフィラメントの生成が容易となることがわかった。

要約(英語)：Plasma filaments of microwave discharge were generated by installing electrode rods in a vacuum vessel under sub-atmospheric pressure, and the discharge configuration was observed. In the electrodeless discharge, surface waves of TM01 and TM11 modes were generated on the dielectric by controlling the incident and reflected power. It was found that by arranging the electrode rod directly under the belly of the surface wave on the dielectric, the generation of plasma filament was facilitated.

本誌：2025年6月11日-2025年6月13日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-3

本誌掲載ページ：21-24p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：2,368Kバイト