ボールねじアクチュエータの状態監視と特徴抽出

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：RM25087,LD25072,HCA25025

グループ名：【D】産業応用部門 回転機/【D】産業応用部門 リニアドライブ/【D】産業応用部門 家電・民生合同研究会

発行日：2025/7/25

タイトル(英語)：Condition Monitoring and Feature Extraction of Ball Screw Actuators

著者名：部矢 明(名古屋大学),井表 慈彰(名古屋大学),井上 剛志(名古屋大学)

著者名(英語)： Akira Heya(Nagoya University),Yoshiaki Ihyo(Nagoya University),Tsuyoshi Inoue(Nagoya University)

キーワード：ボールねじ,アクチュエータ,状態監視,特徴抽出,Ball screw,Actuator,Condition monitoring,Feature extraction

要約(日本語)：ボールねじアクチュエータは、回転運動を直線運動に変換するボールねじ機構とモータを組み合わせたものであり、高精度かつ高効率な位置決めが求められる産業機械や半導体製造装置などで広く用いられている。本研究では、ボールねじアクチュエータの実駆動データに基づき、状態監視に有効な特徴量の抽出と評価を行った。また，電流信号から得られる統計量や周波数特性を解析し、異常検知に有用な指標の有効性を検討した。

要約(英語)：A ball screw actuator combines a ball screw mechanism, which converts rotary motion into linear motion, with a motor. It is widely used in industrial machinery and semiconductor manufacturing equipment, where high-precision and high-efficiency positioning are required. In this study, condition monitoring was performed by extracting and evaluating effective features from actual operational data of the ball screw actuator. In addition, statistical measures and frequency characteristics derived from current signals were analyzed to assess the effectiveness of indicators useful for fault detection.

本誌：2025年7月28日-2025年7月29日回転機/リニアドライブ/家電・民生合同研究会

本誌掲載ページ：51-52p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：1,461Kバイト