ワンチップCMOSミリ波レーダを用いたマイクロメートル級精密計測の基礎検討

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：MZK25022

グループ名：【D】産業応用部門 ものづくり研究会

発行日：2025/9/9

タイトル(英語)：Fundamental Study on Micrometer-Scale Precision Measurement Using a Single-Chip CMOS Millimeter-Wave Radar

著者名：森 浩樹(東芝),三井 悠輔(東芝)

著者名(英語)： Hiroki Mori(Toshiba Corporation),Yusuke Mitsui(Toshiba Corporation)

キーワード：ミリ波レーダ,精密計測,位相雑音,バイスタティックレーダ,人工反射

要約(日本語)：近年、普及が進む1チップCMOSミリ波レーダは小型・低価格でありながら、精密計測として産業応用が期待されている。一方で、内在する位相雑音の大きさからマイクロメートル級の計測は困難とされてきた。そこで本研究では、位相雑音をリアルタイムに抑圧する計測手法と高精度位相解析手法を組み合わせることで、変位や厚みをマイクロメートル精度で計測可能であることを基礎実験により示した。

要約(英語)：A single-chip CMOS millimeter-wave radar, while compact and low-cost, has been considered unsuitable for micrometer-scale measurements due to significant phase noise. This study demonstrates, through fundamental experiments, that combining real-time phase noise suppression with high-precision phase analysis enables accurate displacement and thickness measurements at micrometer resolution.

本誌：2025年9月12日ものづくり研究会

本誌掲載ページ：41-46p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：763Kバイト