ステージ制御高速高精度化のためのC^N級目標軌道設計

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：MEC25001

グループ名：【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日：2025/9/23

タイトル(英語)：C^N-Class Target Trajectory Design for High-Speed and High-Precision Stage Control

著者名：武田 耕生(ニコン),坂田 晃一(ニコン),岡部 紘介(ニコン),加藤 凌(ニコン)

著者名(英語)： Kosei Takeda(Nikon corporation),Koichi Sakata(Nikon corporation),Okabe Kosuke(Nikon corporation),Kato Ryo(Nikon corporation)

キーワード：目標軌道設計,高次連続性,ステージ制御,共振抑制,Trajectory Planning,High-order Continuity,Stage Control,Resonance Suppression

要約(日本語)：高精度が求められるロボットや露光装置では、高次共振モードを励起しないために、定速区間間を滑らかに接続する軌道が重要である。しかし、現行の露光装置で用いられる4次多項式は振動成分が∝f^(-6)でしか減衰せず、残留振動が等速区間を含む位置決め精度を低下させる課題がある。そこで本研究では、高周波成分の抑制が期待できるC^N級目標軌道の構築方法について論ずるとともに、既存軌道との実機比較を行い、その有効性を検証する。

要約(英語)：In high-precision robots and exposure systems, smooth trajectory connections between constant velocity segments are vital to suppress higher-order resonance modes. Conventional quartic polynomials used in exposure tools attenuate vibration as ∝f^(-6), insufficiently reducing residual vibration. This study proposes C^N-class trajectories to better suppress high-frequency components and experimentally verifies their effectiveness.

本誌：2025年9月26日メカトロニクス制御研究会

本誌掲載ページ：1-6p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：1,658Kバイト