ウエハ搬送ロボットに対する非駆動軸方向の振動のモデル化と振動解析

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：MEC25008

グループ名：【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日：2025/9/23

タイトル(英語)：Modeling and Analysis of Vibrations in Non-actuated Directions of Wafer Transfer Robot

著者名：平松 虎哲(東京大学),猶木 雄登(東京大学),神谷 万人(東京大学),大西 元樹(東京大学),藤本 博志(東京大学),須藤 吉寛(ダイヘン),曽我 幸慧(ダイヘン),山田 敬也(ダイヘン),北野 豊和(ダイヘン)

著者名(英語)： Kotetsu Hiramatsu(The University of Tokyo),Yuto Naoki(The University of Tokyo),Manto Kamiya(The University of Tokyo),Genki Onishi(The University of Tokyo),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo),Yoshihiro Suto(DAIHEN Corporation),Yukisato Soga(DAIHEN Corporation),Takaya Yamada(DAIHEN Corporation),Toyokazu Kitano(DAIHEN Corporation)

キーワード：ウエハ搬送ロボット,非駆動軸,振動解析,３次元集中バネモデル,wafer transfer robot,non-actuated direction,vibrations analysis,3D lumped spring model

要約(日本語)：本論文では，3次元集中ばねモデルを用いた，非駆動軸方向の振動を表現するロボットモデルを提案する。提案モデルの有効性は，数値シュミレーションおよび加速度センサを用いた周波数領域でのシステム同定実験により検証された。さらに，提案モデルを用いて，モータトルクによる非駆動軸方向の振動の解析を行った。

要約(英語)：This paper presents a robot model that can express the vibrations in the non-actuated directions using 3D lumped spring models. The effectiveness of the proposed approach was validated through numerical simulations and experimental results of the frequency domain system identification with an acceleration sensor. In addition, vibration analysis in the non-actuated directions using the proposed model caused by the motor torque was conducted.

本誌：2025年9月26日メカトロニクス制御研究会

本誌掲載ページ：43-48p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：1,614Kバイト