In2O3系MSIMダイオードの製作と評価

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EFM25018

グループ名：【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日：2025/11/22

タイトル(英語)：Fabrication and Evaluation of In2O3-based MSIM Diodes

著者名：矢崎 結也(工学院大学),石井 和歩(工学院大学),辛 佳和(工学院大学),石上 柊佑(工学院大学),松藤 由磨(工学院大学),相川 慎也(工学院大学)

著者名(英語)： Yuya Yasaki(Kogakuin University),Kazuho Ishii(Kogakuin University),Yoshikazu Shin(Kogakuin University),Shu Ishigamimi(Kogakuin University),Yuma Matsuhuji(Kogakuin University),Shinya Aikawa(Kogakuin University)

キーワード：酸化インジウム,整流器,レクテナ,ＲＦマグネトロンスパッタリング,透明デバイス,Indium oxide,rectifier,rectenna,RF magnetron sputtering,transparent device

要約(日本語)：近年，環境発電への需要が高まり，レクテナへの研究が盛んである．その整流部としてトンネル効果を伝導の主因とするMSIMダイオードが注目されている．本研究では透明アンテナとの集積化を目的に，RFスパッタ法にてITO/B添加In2O3/Y2O3/ITO積層構造のIn2O3系ダイオードを製作した．素子は明確な整流特性を示したため、各層の物性調査から推定したバンドアライメントと併せて報告する．

要約(英語)：For ambient energy harvesting, we fabricated In2O3-based MSIM diodes with an ITO/B-doped In2O3/Y2O3/ITO structure via RF magnetron sputtering. The device exhibited clear rectifying characteristics. We report on these properties and the estimated band alignment, which was derived from physical property investigations of each layer.

本誌：2025年11月25日-2025年11月26日電子材料研究会

本誌掲載ページ：43-47p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：1,068Kバイト