[招待講演] その場観察による有機薄膜形成素過程の解明と定量解析

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：DEI25126

グループ名：【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日：2025/12/9

タイトル(英語)：[Invited Lecture] In Situ Observation and Quantitative Analysis of Elementary Processes in Organic Thin Film Formation

著者名：久保野 敦史(静岡大学)

著者名(英語)： Atsushi Kubono(Shizuoka University)

キーワード：有機薄膜,薄膜成長,素過程,その場観察,水晶振動子マイクロバランス,分子温度,organic thin film,film growth,elementary process,in-situ observation,quartz crystal microbalance,molecular temperature

要約(日本語)：有機薄膜形成における素過程のその場観察手法について、これまでに提案されているさまざまな方法を概説する。本講演では特に、**高精度に調整した水晶振動子マイクロバランス（QCM）**および、入射分子の温度を測定するために新たに開発した技術――ピラニ真空計の原理、すなわち分子と加熱金属線との間の熱交換――に基づく方法について重点的に紹介する。

要約(英語)：Various methods for in situ observation of the elementary processes involved in organic thin film formation are reviewed. Particular emphasis is placed on our recent studies employing a precisely tuned quartz crystal microbalance and a newly developed technique for determining the temperature of incident molecules, based on the principle of Pirani’s gauge—namely, thermal energy exchange between gas molecules and a heated metal wire.

本誌：2025年12月12日誘電・絶縁材料研究会

本誌掲載ページ：9-13p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：836Kバイト