ミリ波帯におけるビア導体の導電率測定方法の検討

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EDD25091

グループ名：【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会

発行日：2025/12/9

タイトル(英語)：Discussion on Measurement Method for Effective Conductivity of Via Conductor at Millimeter Wave Frequencies

著者名：田平 百佳(京セラ),吉川 博道(京セラ),平山 直樹(京セラ)

著者名(英語)： Momoka Tahira(Kyocera Corporation),Hiromichi Yoshikawa(Kyocera Corporation),Naoki Hirayama(Kyocera Corporation)

キーワード：測定方法,導電率,ビア,ミリ波,ＳＩＷ,Measurement method,Conductivity,Via,Millimeter wave,SIW

要約(日本語)：高周波部品の設計においては，材料特性の正確な測定が不可欠である。これまで誘電体基板の複素誘電率，導体層の実効導電率の測定方法は研究されている。しかし、ビア導体の実効導電率の高精度な測定方法は提案されていない。本研究では、ビアに対する測定感度を高めた新規共振器構造による測定方法を提案する。有機基板のビア加工条件を変更し、導電率の違いを明らかにすることで本法の有効性を確認した。

要約(英語)：It is important for high-frequency components to accurately measure the conductivity of via conductors. We propose a measurement technique utilizing a novel resonator structure designed to achieve enhanced sensitivity in evaluating via conductors. This method was validated by measuring the conductivity of two different types of vias.

本誌：2025年12月12日電子デバイス研究会

本誌掲載ページ：7-12p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：1,734Kバイト