VNAを用いた低損失材料の複素誘電率測定のための 0.4 MHzにおけるLC共振器のコイル設計の検討

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EDD25092

グループ名：【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会

発行日：2025/12/9

タイトル(英語)：Design of a Coil for an LC Resonator to Measure the complex Permittivity of Low-Loss Materials Using a VNA at 0.4MHz

著者名：深津 翔太(京セラ株式会社),中山 明(所属なし),吉川 博道(京セラ株式会社),平山 直樹(京セラ株式会社)

著者名(英語)： Shota Fukatsu(KYOCERA Corporation),Akira Nakayama(No affiliation),Hiromichi Yoshikawa(KYOCERA Corporation),Naoki Hirayama(KYOCERA Corporation)

キーワード：複素誘電率測定,ＬＣ共振法,ＭＨｚ帯,低損失材料,非破壊測定,Complex Permittivity Measurement,LC Resonator Method,MHz Band,Low-Loss Materials,Non-Destructive Testing

要約(日本語)：半導体製造装置向け低損失材料では、プラズマの駆動周波数である0.4MHzおよび13.6MHzにおける誘電正接の測定が重要である。本研究では、誘電正接の高精度測定が可能なVNAを用いたLC共振法を適用するため、表皮効果と近接効果を考慮したコイル型インダクタと平行電極キャパシタを設計・試作する。試作共振器での複素誘電率測定により、両周波数で10⁻⁵オーダーのtanδ測定が可能であることを実証した。

要約(英語)：To apply the LC resonance method using a VNA for complex permittivity measurements at 0.4 MHz and 13.6 MHz, coils were designed considering the skin effect and proximity effect. Complex permittivity measurements using prototype resonators demonstrated the capability to measure tanδ of the 10⁻⁵ order at both 0.4 MHz and 13.6 MHz.

本誌：2025年12月12日電子デバイス研究会

本誌掲載ページ：13-18p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：1,515Kバイト