光電圧プローブによるESD波形計測

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：EMC25057

グループ名：【A】基礎・材料・共通部門 電磁環境研究会

発行日：2025/12/16

タイトル(英語)：ESD Waveform Measurement Using the Optical Voltage Probe

著者名：大沢 隆二(精工技研)

著者名(英語)： Osawa Ryuji(Seikoh Giken)

キーワード：光電圧プローブ,ポッケルス素子,差動測定,ＥＳＤ,保護素子,シールド,Optical Voltage Probe,Pockels cell,Differential measurement,ESD,protection devices,shield

要約(日本語)：センサ部にポッケルス素子を採用し、センサヘッドに電磁シールド構造を付加することで、来電界による影響を受けず回路中の電圧挙動が測定できる差動式の光電圧プローブを開発した。これを使用してＥＳＤガンの近傍でストリップライン上に印加されたＥＳＤ電圧の計測や保護素子による電圧変動をin-situ計測した。　本報告では開発した光電圧プローブの説明と保護素子を中心に種々の測定結果について報告する。

要約(英語)：We developed a differential optical voltage probe incorporating a Pockels cell and an electromagnetic shield structure. This design enables measurement of ESD voltage behavior within circuits without interference from external electric fields. Using this probe we performed in-situ measurement of ESD voltage and voltage fluctuations caused by protection devices.

本誌：2025年12月19日電磁環境研究会

本誌掲載ページ：37-42p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：2,102Kバイト