横振動型触覚ディスプレイ用のSMA厚膜アクチュエータアレイと面内初期伸張機構の形成

カテゴリ：研究会(論文単位)

論文No：MSS25082,CHS25049

グループ名：【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ合同研究会

発行日：2025/12/23

タイトル(英語)：Fabrication of SMA thick film actuator array and in-plane initial stretching mechanism for laterally vibrational tactile display.

著者名：長坂 慶大(山形大学),飯野 嬉優(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語)： Yoshihiro Nagasaka(Yamagata university),Yosihiro Iino(Yamagata university),Takashi Mineta(Yamagata university)

キーワード：ＭＥＭＳ,触覚ディスプレイ,ＳＭＡアクチュエータ,面内伸張機構,ＳＵ－８ばねアレイ,変形特性,MEMS,Tactile dispay,SMA actuator,In-plane stretchable mechanism,SU-8 spring array,Deformation property

要約(日本語)：皮膚が敏感な横振動による触覚提示のために，ループ形状のSMA伸縮ビームを左右にもち，刺激提示に十分な出力で面内動作するSMAアクチュエータアレイを設計し，アクチュエータアレイをCu基板上に形成した。横方向に伸張するばねアレイ機構を持つSU-8層を作製してSMA上に接合し，Cu基板を除去した後，面内で伸張してSMA変形用の所定の初期変位を加える手法を考案し，作製した機構の変形特性を評価した。

要約(英語)：A in-plane-deformable SMA thick film actuator　array was newly designed for a laterally　vibrational tactile display. An in-plane stretchable mechanism having SU-8 springs fabricated on another substrate was bonded to the SMA actuator array to provide initial deformation for the cyclic SMA actuation. After the Cu substrate under the SMA was removed, the SMA actuator/SU-8 substrate was initially stretched until a specified displacement. The deformation property was evaluated.

本誌：2025年12月26日-2025年12月27日マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ合同研究会

本誌掲載ページ：11-13p

原稿種別：日本語

PDFファイルサイズ：2,097Kバイト