ＭＥＭＳ光干渉計を利用した表面応力センサにおける分子吸着に対するダイアフラムの変形評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-A1

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Estimation of diaphragm deformation induced by molecular adsorption on MEMS optical interferometric surface-stress sensor

著者名: 高橋 一浩(豊橋技術科学大学),小澤 遼(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

キーワード: ファブリペロー干渉計,表面応力センサ,非標識バイオセンサ,タンパク質,パリレン

要約(日本語): 本研究では膜の変位を電気信号に変換する技術として，ファブリペロー干渉を利用した新規なトランスデューサを提案している．このMEMS 光干渉センサ上にタンパク質を付着させたときの形状変化を評価するため，0.01 mg/mLウシ血清アルブミン抗体（anti-BSA）を滴下する実験を行った．anti-BSA溶液380 pLを滴下したセンサでは，センサの中央が上に凸形に49.7 nm形状変化している様子が観察され，反射率測定結果とも一致した．

要約(英語): We have recently developed a surface-stress sensor based on a MEMS Fabry?Perot interferometer, which utilizes the nonlinear optical transmittance change to enhance the sensitivity. Parylene-C was used as a deformable membrane because of low Young’s modulus of 2.8 GPa, which provides a large deformation with respect to molecular adsorption. After immobilization of 3.8-pg anti-BSA, the center of the sensing area was found to deform about 49.7 nm by optical surface profiler.

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