超薄膜Pt/Tiを用いたブリッジ型水素センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm1-B4

グループ名: 第31回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2014/10/14

タイトル(英語): Development of a bridge type hydrogen sensor using ultra Pt/Ti thin film

著者名: 菅井 良祐(岡山大学),武市 修蔵(岡山大学),牛田 祐貴(岡山大学),井並祥太(岡山大学),堺 健司(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

キーワード: 水素センサ,Pt/Ti薄膜,ブリッジ回路,温度補償,パルス電流

要約(日本語): 現在，環境に優しいクリーンなエネルギーの一つとして水素エネルギーが注目されている．しかし，水素は空気中で広範囲の濃度で爆発を引き起こす危険性がある．そこで爆発を防ぐために水素センサが必要となる．我々はこれまでPt/Ti超薄膜の抵抗変化式水素センサ開発してきた．その中で，温度変化による抵抗値の変化が問題となった．そこで，本研究ではこの温度補償を行うためにセンサをブリッジ構造にし，センサの評価を行った．

要約(英語): Currently, hydrogen energy is attracting attention as ecological clean energy. However, there is a risk that hydrogen explodes in the air with wide range. Therefore, reliable hydrogen sensor is required to prevent accidents. We have developed a Pt/Ti ultra thin film hydrogen sensor as an electric resistance change type. However, there is a problem of resistance change by temperature change. In this study, we have developed a bridge type hydrogen sensor to compensate temperature.

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